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采用反應(yīng)氣體等離子源輔助沉積，對(duì)工件進(jìn)行預(yù)清洗及鍍膜時(shí)的輔助沉積；采用大功率的脈沖偏壓電源，增強(qiáng)膜層的附著力；采用多套孿生靶及弧，可同時(shí)安裝2-6種不同純金屬或合金靶材，獲得復(fù)合納米鍍層；工件架采用公自轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，稱重能力強(qiáng)及耐高溫，并可移動(dòng)出...